Person

Dieter Dunkmann

Lehrstuhl für Halbleitertechnik und Institut für Halbleitertechnik

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Room: 24C209

Sommerfeldstraße 18

52074 Aachen

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Source Author(s)
[Contribution to a conference proceedings, Journal Article]
Electron beam lithography and ion implantation techniques for fabrication of high-T-c Josephson junctions
In: Microelectronic engineering, 30 (1/4), 407-410, 1996
[DOI: 10.1016/0167-9317(95)00274-X]
Barth, R.
Hamidi, A. H.
Hadam, Birgit
Hollkott, J.
Dunkmann, Dieter
Auge, J.
Kurz, Heinrich